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SCA100T系列是基于3D MEMS的高精度双轴倾角传感器芯片,它提供了水平测量仪表级别的性能。双轴高精度倾角传感器芯片的传感元件在测量时需要与测量平台保持平行,并且传感器双轴需相互垂直。低温度依赖性、高分辨率、低噪声和健全的传感元件设计让SCA100T-D01、SCA100T-D02高精度双轴倾角传感器芯片成为水平测量仪器的不二选择。VTI的倾角传感器对于振动不灵敏,因为他们都在传感元件内部增加了阻尼,并且能承受高达20,000g的机械冲击力